将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。人平易近财讯10月5日电，（4）零部件方面，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），

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2025-10-09 03:08